微納器件在半導體、生物科學(xué)等領(lǐng)域中的迅速發(fā)展促進(jìn)了人們對微納結構的不斷探索和改進(jìn)。測量作為衡量器件性能的重要手段，對微納結構的三維形貌檢測也變得日趨重要。 

　　光電所科研人員提出一種基于白光顯微干涉術(shù)的形貌恢復算法：利用二維傅立葉變換獲取單幀干涉圖像頻域信息，提取基頻頻譜作逆傅里葉變換，最后獲取條紋的時(shí)域調制度信息。通過(guò)壓電陶瓷縱向高精度掃描，獲取每個(gè)像素點(diǎn)的調制度分布，進(jìn)而利用極值點(diǎn)得到單個(gè)像素點(diǎn)的高度信息，從而實(shí)現微納結構的三維形貌重建。該方法優(yōu)勢在于能有效消除光源光強不穩定、外界環(huán)境干擾等不利因素帶來(lái)的誤差，較大程度上提升檢測精度和系統穩定性，未來(lái)有望應用于在線(xiàn)檢測。 

　　該項目得到國家科學(xué)自然基金和光電所研究生創(chuàng )新基金支持。 

　　單個(gè)像素點(diǎn)時(shí)域調制度分布曲線(xiàn)和三維形貌重建結果