中科院光電技術(shù)所先進(jìn)光學(xué)研制中心在高精度平面絕對檢測研究中取得新進(jìn)展：首次提出了一種通用的平面絕對檢測方法，該方法采用逆向迭代優(yōu)化算法求解絕對檢測模型，具有簡(jiǎn)單、快速、準確求解絕對面形的優(yōu)勢。相關(guān)結果發(fā)表于近期的Optics Express。 

　　在過(guò)去的數十年中，受空間光學(xué)、同步輻射裝置以及深紫外、極紫外光刻機等項目的驅動(dòng)，高精度光學(xué)元件的需求日益增加。這些光學(xué)元件普遍要求光學(xué)面形檢測精度達到亞納米級（如0.1 nm RMS）的超高精度，并且要求實(shí)現像素分辨率的檢測。這給面形檢測提出了新的挑戰，使得高精度面形絕對檢測技術(shù)已成為國內外的研究熱點(diǎn)和前沿核心技術(shù)。 

　　該研究針對面形數據中的每個(gè)數據點(diǎn)進(jìn)行迭代優(yōu)化求解，相對傳統澤尼克多項式擬合方法（低通濾波），可以實(shí)現像素分辨率的面形檢測，得到更多更全面的絕對面形數據。另外，研究提出的加速迭代算法可以大大降低計算成本和計算機內存需求。 

　　幾種迭代優(yōu)化算法迭代收斂速度對比